6月3日收盘数据显示，半导体设备概念报跌，华亚智能（58.8，-3.17，-5.115%）领跌，中微公司(133.21，-5.4，-3.896%)、至纯科技(36.43，-1.25，-3.317%)、深科达(38，-1.26，-3.209%)等跟跌。

　　相关半导体设备概念股有：

　　1、华亚智能：公司所属行业具有资本与技术密集型特征，公司是江苏省高新技术企业、江苏省创新型企业、江苏省半导体协会副理事单位、中国半导体协会成员单位。

　　2、中微公司：中微半导体设备股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。

　　3、至纯科技：2019年5月7日公告，公司拟发行不超过3.56亿元可转债，扣除发行费用后的净额用于投资半导体湿法设备制造项目以及晶圆再生基地项目。

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