12月28日午后数据显示，光刻清洗设备概念报涨，迈为股份（128.35，21.39，20%）领涨，捷佳伟创(73.6，7.66，11.62%)、沃特股份(19.92，0.65，3.37%)、北方华创(245.19，6.59，2.76%)等跟涨。

　　相关光刻清洗设备概念股有：

　　1、迈为股份：

　　近3日股价上涨0.98%，2023年股价下跌-88.39%。

　　2、捷佳伟创：

　　近3日捷佳伟创下跌0.77%，现报73.6元，2023年股价下跌-42.71%，总市值255.28亿元。

　　3、沃特股份：

　　沃特股份在近3个交易日中有2天下跌，期间整体下跌5.55%，最高价为20.65元，最低价为19.67元。2023年股价上涨9.7%。

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