截止2024年3月29日，个股表现方面，集成电路专用设备概念股中，长川科技(300604)当日报收33.60，上涨6.84%，成交量27.94万。易天股份(300812)以上涨2.60%紧随其后，该股当日成交量6.36万。此外，盛美上海(688082)、众合科技(000925)、至正股份(603991)均进入当日集成电路专用设备概念股上涨股之列。

　　市值来看，截止2024年3月29日，集成电路专用设备概念股中众合科技、易天股份、劲拓股份、至正股份等5家市值位于不足100亿之列；盛美上海、拓荆科技、长川科技、芯源微等4家市值位于100亿到500亿之列。

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