截止2024年3月15日，个股表现方面，半导体设备股票中，博杰股份(002975)当日报收40.15，上涨5.52%，成交量6.76万。盛剑环境(603324)以上涨4.19%紧随其后，该股当日成交量4.4万。此外，机器人(300024)、精智达(688627)、东方钽业(000962)均进入当日半导体设备股票上涨股之列。

　　市值来看，截止2024年3月15日，半导体设备股票中精智达、东方钽业、博杰股份、快克智能、盛剑环境等5家市值位于不足100亿之列；机器人市值位于100亿到500亿之列。

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