截止2023年10月31日，个股表现方面，国产光刻机概念股当日领跌股为旭光电子(600353)，该股当日报收7.21，上涨-4.25%，成交量15.9万。蓝英装备(300293)以下跌-4.09%紧随其后，该股当日成交量41.25万。此外，同飞股份(300990)、冠石科技(605588)、彤程新材(603650)均进入当日国产光刻机概念股熊股之列。

　　市值来看，截止2023年10月31日，国产光刻机概念股中同飞股份、旭光电子、蓝英装备等4家市值位于不足100亿之列；彤程新材市值位于100亿到500亿之列。

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