截止2023年9月28日，个股表现方面，半导体设备概念上市公司当日领涨股为联得装备(300545)，该股当日报收29.38，上涨20.02%，成交量20.51万。盛美上海(688082)以上涨15.24%紧随其后，该股当日成交量3.52万。此外，罗博特科(300757)、XR拓荆科(688072)、精智达(688627)均进入当日半导体设备概念上市公司牛股之列。

　　市值来看，截止2023年9月28日，半导体设备概念上市公司中罗博特科、精智达、联得装备等3家市值位于不足100亿之列；XR拓荆科和精测电子市值位于100亿到500亿之列；盛美上海市值位于500亿到1000亿之列。

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