离子注入机概念股有哪些？离子注入机股票今日股价：

　　万业企业：

　　3月6日消息，万业企业开盘报19.15元，截至15时，该股涨1.14%，报19.500元。换手率2.7%，振幅涨1.14%。

　　集成电路业务专注离子注入机，出资4亿认购上海半导体装备材料产业投资基金，该基金先后投资飞凯材料、精测电子、长川科技、华卓精科和上海御渡等，并购紫光控股等集成电路装备材料核心项目。

　　在ROE方面，公司从2018年到2021年，分别为15.97%、9.37%、4.88%、5.34%。

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