碳化硅外延设备龙头股上市公司有：

　　晶盛机电：龙头，近3日股价下跌0.84%，2024年股价下跌-19.74%。

　　从近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为84.58%，最高为2022年的29.24亿元。

　　公司开发的碳化硅外延设备，有助于拓展在第三代半导体设备领域的市场布局。

　　碳化硅外延设备概念股其他的还有：

　　中微公司：回顾近7个交易日，中微公司有5天上涨。期间整体上涨1.4%，最高价为136.5元，最低价为150.49元，总成交量5591.76万手。

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